يعمل جهاز المناولة الفراغي من سلسلة PHOENIX من SIASUN ضمن وحدة النقل الفراغي (VTM) أو غرفة النقل الخاصة بأداة المجموعة. ويقوم بنقل الركائز (عادةً رقائق السيليكون) بين غرف التوازن وغرف المعالجة المتعددة.

يحافظ على متطلبات النظافة الصارمة ودقة تحديد المواقع ووقت التشغيل كجزء من نظام الأتمتة الأمامي.

تخدم سلسلة Phoenix تطبيقات أشباه الموصلات واللوجستيات والبحث والتفتيش.

اتصل بنا لمعرفة الأسعار والتوافر.