- Vakuummanipulator
- Cluster-Tools
- Abscheidung/Ätzen
- Load Locks
- Messstationen
- Vakuumbedingungen
Beschreibung
Der Vakuum-Manipulator der SIASUN PHOENIX PLUS-Serie arbeitet in Vakuumprozessanlagen wie Cluster-Tools für Abscheidung, Ätzen oder verwandte Vakuumprozesse.
Transferiert Wafer oder Substrate zwischen Load-Locks, Prozessmodulen und Metrologiestationen unter kontrollierten Vakuumbedingungen.
Die Phoenix Plus-Serie wird für Vakuum-Handling in den Bereichen Halbleiter und Industrie eingesetzt.
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Funktionen
Technische Daten
| Modell | Vacuum Manipulator PHOENIX PLUS Series |
|---|---|
| Robotertyp | Vakuummanipulator |
| Verwendungszweck | Cluster-Tool-Integration |
| Marke | SIASUN |
Branchen
Häufig gestellte Fragen
Kontaktieren Sie uns für aktuelle Preise, Verfügbarkeit und ein individuelles Angebot zu SIASUN Vakuum-Manipulator Phoenix Plus-Serie.
Der SIASUN PHOENIX PLUS Vacuum Manipulator arbeitet in Clustertools für Abscheidung und Ätzen. Kontrollierter Vakuumtransfer zwischen Load-Locks und Prozessmodulen.
SIASUN Vakuum-Manipulator Phoenix Plus-Serie eignet sich hervorragend für Anwendungen in den Bereichen Industrie.
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SIASUN Vakuum-Manipulator Phoenix Plus-Serie
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