- VTM operation
- Transfer chamber
- Silicon wafers
- Process chambers
- Cleanliness
- Positioning accuracy
Beschreibung
Der Vakuum-Manipulator der SIASUN PHOENIX-Serie arbeitet innerhalb eines Vakuum-Transfermoduls (VTM) oder einer Transferkammer eines Cluster-Tools. Bewegt Substrate (üblicherweise Siliziumwafer) zwischen Load-Locks und mehreren Prozesskammern.
Erfüllt strenge Reinheitsanforderungen, Positioniergenauigkeit und Verfügbarkeitsanforderungen als Teil des Frontend-Automatisierungsökosystems.
Die Phoenix-Serie wird für Anwendungen in den Bereichen Halbleiter, Logistik, Forschung und Inspektion eingesetzt.
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Funktionen
Technische Daten
Branchen
SIASUN Vakuum-Manipulator Phoenix-Serie
- Regulärer Preis
- Preis auf Anfrage
Auf Lager
Robotic Arm
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