- Direktantrieb ohne Riemen Eine getriebe- und riemenlose Motorstruktur reduziert Spiel und mechanische Verschleißstellen für eine gleichmäßigere, zuverlässigere Transferbewegung.
- Für Vakuumumgebungen geeignet Ausgelegt auf geringe Partikelerzeugung und kontrolliertes Ausgasen, damit Wafer Vakuumanlagen durchlaufen, ohne die kontrollierte Umgebung zu unterbrechen.
- Handhabung empfindlicher Substrate Transferiert Wafer zwischen Ladeschleusen, Transferkammern und Prozessmodulen wie Abscheidungs-, Ätz- und Messstationen.
- Schwingungskontrollierte Bewegung Die Bewegung ist darauf abgestimmt, Vibrationen beim Aufnehmen, Ablegen und Verfahren zu minimieren und so hochwertige Substrate zu schützen.
- Integrationsbereite Steuerung Wird mit Motion-Controller und I/O-Schnittstellen geliefert, einschließlich eines aktualisierten I/O-Moduls, für die Anbindung an anlagenseitige Verriegelungen und Fabriksignale.
- Wiederholgenauer Transfer mit hohem Durchsatz Konsistente Endeffektor-Handhabung unterstützt Wiederholgenauigkeit, Durchsatz und Kontaminationskontrolle in Halbleiter-Prozessanlagen.
Beschreibung
Der SIASUN Vacuum Robot Phoenix ist ein Vakuum-Transferroboter für die Halbleiter- und Reinraumfertigung, entwickelt, um Wafer und andere empfindliche Substrate zwischen Ladeschleusen, Transferkammern und Prozessmodulen wie Abscheidungs-, Ätz- und Messstationen zu bewegen, ohne die kontrollierte Umgebung zu unterbrechen. Seine Bewegung ist auf einen stabilen, gleichmäßigen Transfer unter Vakuumbedingungen abgestimmt, wo geringe Partikelerzeugung, kontrolliertes Ausgasen und Schwingungskontrolle entscheidend für den Schutz hochwertiger Substrate sind.
Der Phoenix nutzt eine Direktantriebsarchitektur, die die Abhängigkeit von Getrieben und Riemen verringert und so Spiel und mechanische Verschleißstellen für eine gleichmäßigere, wiederholgenauere Bewegung reduziert. Als integrationsbereite Plattform mit Motion-Controller und I/O-Schnittstellen geliefert, eignet er sich für Halbleiter-, Reinraum- und industrielle Vakuumhandhabungsanwendungen, bei denen Wiederholgenauigkeit, Durchsatz und Kontaminationskontrolle zählen. Kontaktieren Sie uns für detaillierte Spezifikationen, Preise und Verfügbarkeit.
Funktionen
Technische Daten
| Marke | SIASUN |
|---|---|
| Modell | Vacuum Robot Phoenix (PHOENIX B Series) |
| Robotertyp | Vakuum-Wafer-Transferroboter |
| Antriebsarchitektur | Direktantrieb, getriebe- und riemenlos |
| Umgebung | Vakuum / Reinraum (Halbleiteranlagen) |
| Handhabung | Wafer und empfindliche Substrate über Endeffektor-Blade |
| Steuerung und I/O | Motion-Controller mit integriertem I/O-Modul für die Anlagenintegration |
| Typische Anwendungen | Transfer bei Abscheidung, Ätzen und Messtechnik in Halbleiter-Prozessanlagen |
Branchen
Häufig gestellte Fragen
Kontaktieren Sie uns für aktuelle Preise, Verfügbarkeit und ein maßgeschneidertes Angebot zum SIASUN Vacuum Robot Phoenix.
Er ist ein Vakuum-Transferroboter, der Wafer und andere empfindliche Substrate zwischen Ladeschleusen, Transferkammern und Prozessmodulen wie Abscheidungs-, Ätz- und Messstationen bewegt, ohne die kontrollierte Vakuumumgebung zu unterbrechen.
Seine getriebe- und riemenlose Direktantriebsstruktur beseitigt zwischengeschaltete Übertragungskomponenten, reduziert Spiel und mechanische Verschleißstellen und unterstützt eine gleichmäßigere, wiederholgenauere Bewegung für den Präzisionstransfer.
Ja. Der Phoenix wird als integrationsbereite Plattform mit Motion-Controller und I/O-Schnittstellen geliefert, einschließlich eines aktualisierten I/O-Moduls, für die Anbindung an anlagenseitige Verriegelungen und Fabrikautomationssignale. Detaillierte numerische Spezifikationen werden je Konfiguration bereitgestellt.
Ja. Robotix Market beliefert Unternehmen weltweit – mit Rechnungsstellung und After-Sales-Support. Kontaktieren Sie uns für ein Angebot.
SIASUN Vakuumroboter Phoenix
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