- Vakuum-Wafertransfer
- Load Locks
- Prozessmodule
- Wiederholgenauigkeit
- Durchsatz
- Kontaminationskontrolle
Beschreibung
Die SIASUN Vacuum Robot Phoenix B Series transferiert Wafer zwischen Load-Locks, Transferkammern und Prozessmodulen (Abscheidung, Ätzen, Messtechnik), ohne kontrollierte Umgebungen zu unterbrechen.
Verbessert Wiederholgenauigkeit, Durchsatz und Kontaminationskontrolle in der Halbleiter- und Reinraumfertigung.
Die Phoenix B Series eignet sich für Vakuumhandling-Anwendungen in Halbleiterindustrie, Bildung und Industrie.
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Funktionen
Technische Daten
| Modell | Vacuum Robot PHOENIX B Series |
|---|---|
| Robotertyp | Vakuumtransfer |
| Verwendungszweck | Halbleiterhandhabung |
| Marke | SIASUN |
Branchen
Häufig gestellte Fragen
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Die SIASUN Vacuum Robot Phoenix B Series transferiert Wafer durch Load-Locks und Prozessmodule. Kontaminationskontrollierte Automatisierung für die Halbleiterfertigung.
SIASUN Vacuum Robot Phoenix B Series eignet sich hervorragend für Anwendungen in den Bereichen Industrie.
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SIASUN Vacuum Robot Phoenix B Series
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