Buy SIASUN TSS - Advanced Robotics Solution | Robotix Market
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Descripción

El SIASUN TSS-3000 EFEM (Equipment Front End Module) actúa como una interfaz controlada entre el transporte de materiales de la fábrica y la transferencia interna de la herramienta de proceso. Coordina la carga de obleas, la alineación/traspaso y la transferencia.

Mantiene el control de contaminación y la comunicación estandarizada entre equipos en fábricas de obleas de semiconductores.

El TSS-3000 atiende aplicaciones de manipulación de obleas en semiconductores, logística e industria.

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Características

  • EFEM system
  • Wafer loading
  • Alignment/hand-off
  • Contamination control
  • Standardized comms
  • Front-end transfer

Especificaciones

  • Model: TSS-3000
  • Robot Type: EFEM
  • Target Use: Semiconductor wafer handling
  • Brand: SIASUN

Sectores
  • Industrial
SIASUN

SIASUN TSS Industrial Robot

Precio bajo consulta
En stock
Robotic Arm

El SIASUN TSS-3000 es un EFEM para la carga y transferencia controladas de obleas en plantas de semiconductores. Módulo front-end que mantiene el control de contaminación y la comunicación estandarizada.

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