El manipulador de vacío SIASUN serie PHOENIX opera dentro de un módulo de transferencia al vacío (VTM) o cámara de transferencia de una herramienta cluster. Mueve sustratos (habitualmente obleas de silicio) entre esclusas de carga y múltiples cámaras de proceso.

Mantiene una limpieza rigurosa, precisión de posicionamiento y requisitos de tiempo de actividad como parte del ecosistema de automatización front-end.

La serie Phoenix atiende aplicaciones en los sectores semiconductor, logística, investigación e inspección.

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