- Accionamiento directo, sin correas Una estructura de motor sin engranajes ni correas reduce el juego y los puntos de desgaste mecánico para un movimiento de transferencia más suave y fiable.
- Apto para entornos de vacío Construido para una baja generación de partículas y una desgasificación controlada, de modo que las obleas atraviesen los equipos de vacío sin romper el entorno controlado.
- Manipulación de sustratos sensibles Transfiere obleas entre esclusas de carga, cámaras de transferencia y módulos de proceso como estaciones de deposición, grabado y metrología.
- Movimiento con control de vibraciones El movimiento está ajustado para minimizar las vibraciones durante la recogida, la colocación y el tránsito, protegiendo sustratos de alto valor.
- Control listo para integrar Se suministra con un controlador de movimiento e interfaces de I/O, incluido un módulo de I/O actualizado, para conectarse a los enclavamientos del equipo y a las señales de fábrica.
- Transferencia repetible y de alto rendimiento La manipulación constante del efector final favorece la repetibilidad, el rendimiento y el control de la contaminación en los equipos de procesamiento de semiconductores.
Descripción
El SIASUN Vacuum Robot Phoenix es un robot de transferencia en vacío para la fabricación de semiconductores y salas limpias, diseñado para mover obleas y otros sustratos sensibles entre esclusas de carga, cámaras de transferencia y módulos de proceso como estaciones de deposición, grabado y metrología, sin romper el entorno controlado. Su movimiento está ajustado para una transferencia estable y suave en condiciones de vacío, donde la baja generación de partículas, la desgasificación controlada y el control de vibraciones son críticos para proteger sustratos de alto valor.
El Phoenix utiliza una arquitectura de accionamiento directo que reduce la dependencia de engranajes y correas, disminuyendo el juego y los puntos de desgaste mecánico para un movimiento más suave y repetible. Entregado como plataforma lista para integrar con un controlador de movimiento e interfaces de I/O, es adecuado para aplicaciones de manipulación en vacío en semiconductores, salas limpias e industria, donde importan la repetibilidad, el rendimiento y el control de la contaminación. Contáctenos para conocer especificaciones detalladas, precios y disponibilidad.
Características
Especificaciones
| Marca | SIASUN |
|---|---|
| Modelo | Vacuum Robot Phoenix (PHOENIX B Series) |
| Tipo de robot | Robot de transferencia de obleas en vacío |
| Arquitectura de accionamiento | Accionamiento directo, sin engranajes ni correas |
| Entorno | Vacío / sala limpia (equipos de semiconductores) |
| Manipulación | Obleas y sustratos sensibles mediante pala del efector final |
| Control e I/O | Controlador de movimiento con módulo de I/O integrado para la integración en el equipo |
| Aplicaciones típicas | Transferencia en deposición, grabado y metrología en equipos de procesamiento de semiconductores |
Sectores
Preguntas frecuentes
Contáctenos para conocer el precio actual, la disponibilidad y un presupuesto a medida del SIASUN Vacuum Robot Phoenix.
Es un robot de transferencia en vacío que mueve obleas y otros sustratos sensibles entre esclusas de carga, cámaras de transferencia y módulos de proceso como estaciones de deposición, grabado y metrología, sin romper el entorno de vacío controlado.
Su estructura de accionamiento directo, sin engranajes ni correas, elimina los componentes de transmisión intermedios, reduce el juego y los puntos de desgaste mecánico y favorece un movimiento más suave y repetible para una transferencia de precisión.
Sí. El Phoenix se entrega como plataforma lista para integrar, con un controlador de movimiento e interfaces de I/O, incluido un módulo de I/O actualizado, para conectarse a los enclavamientos del equipo y a las señales de automatización de fábrica. Las especificaciones numéricas detalladas se proporcionan según la configuración.
Sí. Robotix Market abastece a empresas de todo el mundo con facturación y soporte posventa. Contáctenos para solicitar un presupuesto.
Vistos recientemente
Aún no has visto ningún producto.
