- Silicon wafers
- LED sapphire
- High rigidity
- Vibration suppression
- High-speed motion
- Lightweight structure
Descripción
El robot de vacío SIASUN SM12 manipula obleas de silicio y sustratos de zafiro para LED. El diseño prioriza la rigidez, la supresión de vibraciones y el movimiento de alta velocidad gracias a una estructura ligera.
Opera en entornos de vacío controlado o adyacentes al vacío con una manipulación repetible de sustratos.
El SM12 atiende aplicaciones de manipulación de sustratos en los sectores semiconductor, LED e industrial.
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Características
Especificaciones
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