- Interface front-end EFEM Relie le système de transport des matériaux de l'usine et l'environnement de transfert interne de l'équipement de procédé pour un transfert de plaquettes standardisé.
- Conception compatible SEMI Présenté comme un système d'interface compatible avec les normes SEMI pour la communication et l'intégration des équipements.
- Robot de transfert à double bras Un robot à double bras doté d'un axe externe assure un déplacement des plaquettes à haute efficacité au niveau du front-end de l'équipement.
- Encombrement compact L'architecture à faible encombrement convient aux front-ends d'équipements de fab où l'espace est limité.
- Coordination de transport flexible Déplace les plaquettes manuellement ou en coordination avec le transport d'usine, tel que les systèmes aériens.
- Maîtrise de la contamination Assure des transferts de plaquettes répétables tout en réduisant le contact de l'opérateur avec les substrats critiques.
Description
Le SIASUN TSS-3000 est un EFEM (Equipment Front End Module) destiné à la fabrication de semi-conducteurs, servant d'interface contrôlée entre le système de transport des matériaux d'une fab et l'environnement de transfert interne d'un équipement de procédé. Il coordonne le chargement, l'alignement et le transfert des plaquettes tout en contribuant à la maîtrise de la contamination et à une communication d'équipements standardisée et compatible SEMI.
Conçu avec un faible encombrement, le TSS-3000 utilise un robot de transfert à double bras doté d'un axe externe pour déplacer les plaquettes manuellement ou en coordination avec le transport d'usine, tel que les systèmes aériens, permettant une manipulation des plaquettes à haute efficacité et répétable au niveau du front-end de l'équipement. Il convient aux environnements de fab en salle blanche où des interfaces standardisées et un contact réduit de l'opérateur avec les substrats critiques sont requis. Contactez-nous pour connaître les prix et la disponibilité.
Fonctionnalités
Spécifications
| Marque | SIASUN |
|---|---|
| Modèle | TSS-3000 |
| Type de robot | EFEM (Equipment Front End Module) / système de transfert de plaquettes en front-end |
| Interface | Interface front-end compatible SEMI |
| Robot de transfert | Robot à double bras avec axe externe |
| Encombrement | Compact / faible encombrement |
| Fonctionnement | Manuel ou coordonné avec le transport d'usine (p. ex. systèmes aériens) |
| Applications typiques | Manipulation en front-end de fab, chargement et alignement/transfert des plaquettes |
Secteurs
Questions fréquentes
Contactez-nous pour connaître les prix actuels, la disponibilité et obtenir un devis personnalisé pour le SIASUN Truss Robot.
C'est un robot à portique cartésien pour la manutention répétable, le plus souvent le chargement et le déchargement de machines CNC, les transferts entre opérations et les lignes d'automatisation de process en atelier.
Oui. Grâce à sa large enveloppe de travail et à sa longueur de rail évolutive, un seul robot à portique peut desservir plusieurs machines CNC ou postes de travail, réduisant le nombre d'appareils de manutention autonomes.
Son interface d'effecteur accepte les pinces pneumatiques ou servo, les ventouses, les pinces magnétiques et les changeurs d'outils, ce qui permet de le configurer pour la manutention de pièces, les surfaces planes ou ferreuses et les cellules multi-opérations.
Oui. Robotix Market fournit les entreprises du monde entier avec facturation et support après-vente. Contactez-nous pour un devis.
Robot de manipulation de wafers SIASUN TSS-3000 EFEM
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