- Manipulateur sous vide
- Cluster tools
- Dépôt/gravure
- Sas de chargement
- Stations de métrologie
- Conditions sous vide
Description
Le manipulateur sous vide SIASUN série PHOENIX PLUS fonctionne au sein d'équipements de procédé sous vide tels que les outils cluster pour le dépôt, la gravure ou les procédés sous vide connexes.
Il transfère des plaquettes ou des substrats entre les sas de chargement, les modules de procédé et les postes de métrologie tout en maintenant des conditions de vide contrôlées.
La série Phoenix Plus répond aux applications de manipulation sous vide dans les secteurs semi-conducteur et industriel.
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Fonctionnalités
Spécifications
| Modèle | Vacuum Manipulator PHOENIX PLUS Series |
|---|---|
| Type de robot | Manipulateur sous vide |
| Usage prévu | Intégration en cluster tool |
| Marque | SIASUN |
Secteurs
Questions fréquentes
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Le SIASUN PHOENIX PLUS Vacuum Manipulator fonctionne dans les outils cluster pour le dépôt et la gravure. Transfert sous vide contrôlé entre les sas de chargement et les modules de procédé.
Manipulateur sous vide SIASUN série Phoenix Plus convient parfaitement aux applications dans les secteurs Industriel.
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Manipulateur sous vide SIASUN série Phoenix Plus
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