- Vacuum chamber
- Cluster tool
- Direct-drive motor
- Expanded I/O
- Safety zones
- Collision protection
Leírás
A SIASUN SM11 vákuumrobot vákuumkamrákon és klaszter-eszköz architektúrákon belül működik. Szennyeződés-szabályozásra, ismételhetőségre és megbízható ciklusélettartamra tervezték.
Rendelkezik közvetlen meghajtású motorszerkezettel, bővített I/O modullal, konfigurálható biztonsági zónákkal és ütközésvédelemmel.
Az SM11 a félvezető és az ipari vákuumkezelési alkalmazásokban szolgál.
Az árakkal és elérhetőséggel kapcsolatban vegye fel velünk a kapcsolatot.
Jellemzők
Műszaki adatok
Iparágak
Legutóbb megtekintett
You haven't viewed any products yet.
