A SIASUN TSS-3000 EFEM (Equipment Front End Module) vezérelt interfészként szolgál a gyári anyagszállítás és a gyártóberendezések belső anyagátadása között. Koordinálja a szilíciumlapok betöltését, beállítását/átadását és továbbítását.

Biztosítja a szennyeződés-ellenőrzést és a szabványosított berendezéskommunikációt a félvezető wafergyártó üzemekben.

A TSS-3000 félvezetőipari, logisztikai és ipari szilíciumlapka-kezelési alkalmazásokhoz használható.

Az árakkal és a rendelkezésre állással kapcsolatban vegye fel velünk a kapcsolatot.