- Vacuum chambers
- Load-lock systems
- Cluster tools
- Wafers/panels/carriers
- Vacuum-oriented
- Air isolation
Leírás
A SIASUN PHOENIX-S25 vákuummanipulátor vákuumkamrákba, betöltőzsilip-rendszerekbe és klaszter-eszközökbe van integrálva. Alkatrészeket vagy hordozókat (szeletek, panelek, hordozók, precíziós alkatrészek) mozgat a folyamatmodulok között.
Vákuumorientált manipulátorplatformként pozicionálva anélkül, hogy az anyagokat a környezeti levegőnek tenné ki.
A Phoenix-S25 a félvezető és az ipari vákuumkezelési alkalmazásokban szolgál.
Az árakkal és elérhetőséggel kapcsolatban vegye fel velünk a kapcsolatot.
Jellemzők
Műszaki adatok
Iparágak
Legutóbb megtekintett
You haven't viewed any products yet.
