A SIASUN PHOENIX sorozatú vákuummanipulátor egy klaszter-eszköz vákuum átviteli moduljában (VTM) vagy átviteli kamrájában működik. Hordozókat (általában szilíciumszeleteket) mozgat a betöltőzsilipek és a több folyamatkamra között.

Fenntartja a szigorú tisztaságot, a pozicionálási pontosságot és a rendelkezésre állási követelményeket a front-end automatizálási ökoszisztéma részeként.

A Phoenix sorozat a félvezető, a logisztika, a kutatás és az ellenőrzés alkalmazási területein szolgál.

Az árakkal és elérhetőséggel kapcsolatban vegye fel velünk a kapcsolatot.