- Vacuum environment
- Wafer transfer
- Cluster tool integration
- Repeatable motion
- High uptime
- Particle reduction
Leírás
A SIASUN Archer sorozatú vákuumrobot szeleteket vagy hordozókat visz át a folyamatkamrák között a klaszteres berendezésekben. Vákuumkörnyezetekhez tervezték ismételhető mozgással és magas rendelkezésre állással.
Front-end automatizálási modulokkal és vákuumklaszter-eszközökkel integrálva csökkenti a részecskeképződést és fenntartja a tiszta gyártást.
Az Archer sorozat a félvezető és az ipari vákuumfeldolgozási alkalmazásokban szolgál.
Az árakkal és elérhetőséggel kapcsolatban vegye fel velünk a kapcsolatot.
Jellemzők
Műszaki adatok
Iparágak
Legutóbb megtekintett
You haven't viewed any products yet.
