- Vacuum wafer transfer
- Load locks
- Process modules
- Repeatability
- Throughput
- Contamination control
Leírás
A SIASUN Phoenix B sorozatú vákuumrobot a szabályozott környezet megzavarása nélkül szállítja a szilíciumlemezeket a betöltő kamrák, az átviteli kamrák és a feldolgozó modulok (bevonatolás, maratás, mérés) között.
Javítja az ismételhetőséget, az átbocsátási teljesítményt és a szennyeződés-ellenőrzést a félvezető- és tisztatéri gyártásban.
A Phoenix B sorozat félvezetőipari, oktatási és ipari vákuumkezelési alkalmazásokhoz használható.
Az árakkal és a rendelkezésre állással kapcsolatban vegye fel velünk a kapcsolatot.
Jellemzők
Műszaki adatok
Iparágak
SIASUN Phoenix B sorozatú porszívórobot
- Regular price
- Ár ajánlatkérésre
In Stock
Humanoid Robots
Legutóbb megtekintett
You haven't viewed any products yet.
