- Substrate transfer
- Load locks
- Vacuum chambers
- Repeatable throughput
- Precise handling
- Reduced intervention
Leírás
A SIASUN SM15 vákuumrobot hordozókat (például szilíciumlemezeket) vagy érzékeny alkatrészeket szállít a terhelőzárak, a vákuumkamrák és az integrált feldolgozóberendezések belső állomásai között.
Támogatja az ismétlődő átbocsátási teljesítményt, a precíz kezelést és a emberi beavatkozás csökkentését a félvezetőgyártásban.
Az SM15 félvezető-, ellenőrző és ipari vákuumkezelési alkalmazásokhoz használható.
Az árakkal és a rendelkezésre állással kapcsolatban vegye fel velünk a kapcsolatot.
Jellemzők
Műszaki adatok
Iparágak
Legutóbb megtekintett
You haven't viewed any products yet.
