Il manipolatore atmosferico SIASUN Blade-D156 sposta i wafer (o substrati simili ai wafer) tra moduli front-end, porte di carico, allineatori, stazioni di ispezione e interfacce con gli strumenti di processo a pressione ambiente.

Si presenta come una piattaforma di trasferimento compatta e di precisione, spesso integrata in un EFEM o in una cella integrata di movimentazione dei materiali.

Il Blade-D156 è destinato ad applicazioni nel settore dei semiconduttori, dell’ispezione e della movimentazione atmosferica industriale.

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