- Vacuum chamber
- Cluster tool
- Direct-drive motor
- Expanded I/O
- Safety zones
- Collision protection
Descrizione
Il robot per vuoto SIASUN SM11 opera all’interno di camere a vuoto e in architetture con utensili a cluster. Progettato per garantire il controllo della contaminazione, la ripetibilità e una durata di ciclo affidabile.
È dotato di una struttura con motore ad azionamento diretto, un modulo I/O ampliato, zone di sicurezza configurabili e protezione anticollisione.
L'SM11 è destinato ad applicazioni nel settore dei semiconduttori e alla movimentazione sotto vuoto in ambito industriale.
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Caratteristiche
Specifiche tecniche
Settori industriali
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