Il SIASUN TSS-3000 EFEM (Equipment Front End Module) funge da interfaccia controllata tra il trasporto dei materiali in fabbrica e il trasferimento interno dell'apparecchiatura di processo. Coordina caricamento dei wafer, allineamento/passaggio e trasferimento.

Mantiene il controllo della contaminazione e una comunicazione standardizzata tra apparecchiature nelle fab di semiconduttori.

Il TSS-3000 è destinato ad applicazioni di movimentazione wafer nei settori semiconduttori, logistico e industriale.

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