Descrizione

Il SIASUN PHOENIX PLUS Series Vacuum Manipulator opera all'interno di apparecchiature di processo sotto vuoto quali i cluster tool per deposizione, attacco o processi sotto vuoto correlati.

Trasferisce wafer o substrati tra camere di carico, moduli di processo e stazioni di metrologia mantenendo condizioni di vuoto controllate.

La Phoenix Plus Series è destinata ad applicazioni di movimentazione sotto vuoto nei settori semiconduttori e industriale.

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Caratteristiche

Vacuum manipulator
Cluster tools
Deposition/etch
Load locks
Metrology stations
Vacuum conditions

Specifiche tecniche

Model: Vacuum Manipulator PHOENIX PLUS Series
Robot Type: Vacuum manipulator
Target Use: Cluster tool integration
Brand: SIASUN

Settori industriali

Industrial

SIASUN

Manipolatore a vuoto SIASUN serie Phoenix Plus

Prezzo normale: Prezzo su richiesta

In magazzino

Robotic Arm

Il manipolatore a vuoto SIASUN PHOENIX PLUS opera in sistemi di strumenti integrati per la deposizione e l'incisione. Trasferimento controllato sotto vuoto tra le camere di carico e i moduli di processo.

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