Il SIASUN PHOENIX Series Vacuum Manipulator opera all'interno di un modulo di trasferimento sotto vuoto (VTM) o camera di trasferimento di un cluster tool. Movimenta i substrati (comunemente wafer di silicio) tra le camere di carico e più camere di processo.

Mantiene rigorosi requisiti di pulizia, precisione di posizionamento e disponibilità operativa come parte dell'ecosistema di automazione front-end.

La Phoenix Series è destinata ad applicazioni nei settori semiconduttori, logistico, ricerca e ispezione.

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