Descrizione

Il SIASUN Vacuum Robot Phoenix B Series trasferisce i wafer tra camere di carico, camere di trasferimento e moduli di processo (deposizione, attacco, metrologia) senza interrompere gli ambienti controllati.

Migliora ripetibilità, produttività e controllo della contaminazione nella produzione di semiconduttori e in camera bianca.

La Phoenix B Series è destinata ad applicazioni di movimentazione sotto vuoto nei settori semiconduttori, istruzione e industriale.

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Caratteristiche

Vacuum wafer transfer
Load locks
Process modules
Repeatability
Throughput
Contamination control

Specifiche tecniche

Model: Vacuum Robot PHOENIX B Series
Robot Type: Vacuum transfer
Target Use: Semiconductor handling
Brand: SIASUN

Settori industriali

Industrial

SIASUN

Robot aspirapolvere SIASUN serie Phoenix B

Prezzo normale: Prezzo su richiesta

In magazzino

Humanoid Robots

Il robot a vuoto Phoenix serie B di SIASUN trasferisce i wafer attraverso le camere di carico e i moduli di processo. Automazione con controllo della contaminazione per la produzione di semiconduttori.

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