- Substrate transfer
- Load locks
- Vacuum chambers
- Repeatable throughput
- Precise handling
- Reduced intervention
Descrizione
Il robot per vuoto SIASUN SM15 trasferisce substrati (come i wafer) o componenti delicati tra camere di carico, camere a vuoto e stazioni interne negli strumenti di processo integrati.
Garantisce una produttività ripetibile, una movimentazione precisa e un intervento umano ridotto nella produzione di semiconduttori.
L'SM15 è destinato ad applicazioni nel settore dei semiconduttori, dell'ispezione e della movimentazione industriale sotto vuoto.
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Caratteristiche
Specifiche tecniche
Settori industriali
Robot aspirapolvere SIASUN SM15
- Prezzo normale
- Prezzo su richiesta
In magazzino
Wheeled Robots
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