La piattaforma di trasferimento sottovuoto SIASUN Diagram 600 consente lo spostamento dei wafer tra le interfacce di carico/scarico e i moduli di processo basati sul sottovuoto. Mantiene condizioni di pressione controllate per ridurre la contaminazione.

Utilizzata principalmente per il trasferimento dei wafer all’interno di apparecchiature per semiconduttori, a supporto di flussi di produzione ripetibili.

Il modello Diagram 600 è destinato ad applicazioni di trasferimento sottovuoto nei settori dei semiconduttori, della ricerca e industriale.

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