- EFEM system
- Wafer loading
- Alignment/hand-off
- Contamination control
- Standardized comms
- Front-end transfer
Beschrijving
De SIASUN TSS-3000 EFEM (Equipment Front End Module) fungeert als gecontroleerde interface tussen het materiaaltransport in de fabriek en de interne transfer van procesapparatuur. Coördineert waferbelading, uitlijning/overdracht en transfer.
Handhaaft contaminatiebeheersing en gestandaardiseerde apparatuurcommunicatie in halfgeleiderwaferfabrieken.
De TSS-3000 is geschikt voor waferhandlingtoepassingen in halfgeleiders, logistiek en industrie.
Neem contact op voor prijzen en beschikbaarheid.
Kenmerken
Specificaties
Sectoren
Recent bekeken
You haven't viewed any products yet.
