- Vacuum chambers
- Load-lock systems
- Cluster tools
- Wafers/panels/carriers
- Vacuum-oriented
- Air isolation
Beschrijving
De SIASUN PHOENIX-S25 Vacuümmanipulator wordt geïntegreerd in vacuümkamers, load-locksystemen en cluster tools. Verplaatst onderdelen of substraten (wafers, panelen, carriers, precisiecomponenten) tussen procesmodules.
Gepositioneerd als een vacuümgericht manipulatorplatform zonder materialen aan omgevingslucht bloot te stellen.
De Phoenix-S25 wordt ingezet voor vacuümhandling in de sectoren halfgeleiders en industrie.
Neem contact met ons op voor prijzen en beschikbaarheid.
Kenmerken
Specificaties
Sectoren
Recent bekeken
You haven't viewed any products yet.
