O Robô de Transferência em Vácuo SRBZ820C SIASUN opera na automação de processos de semicondutores e de vácuo. Trabalha no interior ou junto de câmaras de vácuo e módulos de transferência para movimentar substratos sensíveis.

É habitualmente descrito como uma solução com certificação SEMI de elevada fiabilidade para o manuseamento de wafers.

O SRBZ820C serve aplicações de transferência em vácuo nos setores dos semicondutores, inspeção e indústria.

Contacte-nos para preços e disponibilidade.