O SIASUN TSS-3000 EFEM (Módulo Frontal de Equipamento) funciona como uma interface controlada entre o transporte de material na fábrica e a transferência interna das ferramentas de processo. Coordena o carregamento, o alinhamento/transferência e o transporte das pastilhas.

Assegura o controlo da contaminação e a comunicação padronizada entre equipamentos em fábricas de wafers semicondutores.

O TSS-3000 destina-se a aplicações nos setores dos semicondutores, da logística e do manuseamento industrial de wafers.

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