Descrição

O manipulador a vácuo SIASUN PHOENIX-S25 está integrado em câmaras de vácuo, sistemas de carga e ferramentas de cluster. Transporta peças ou substratos (wafers, painéis, suportes, componentes de precisão) entre módulos de processo.

Posicionado como uma plataforma de manipulação orientada para o vácuo, sem expor os materiais ao ar ambiente.

O Phoenix-S25 destina-se a aplicações de manuseamento a vácuo na indústria semicondutora e industrial.

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Características

Vacuum chambers
Load-lock systems
Cluster tools
Wafers/panels/carriers
Vacuum-oriented
Air isolation

Especificações

Model: Vacuum Manipulator PHOENIX-S25 Series
Robot Type: Vacuum manipulator
Target Use: Semiconductor handling
Brand: SIASUN

Setores

Industrial

SIASUN

Manipulador a vácuo Phoenix da SIASUN

Regular price: Preço sob consulta

In Stock

Robotic Arm

The SIASUN PHOENIX-S25 Vacuum Manipulator handles substrates in vacuum chambers and cluster tools. Air-isolated transfer for wafers, panels, and precision components.

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Manipulador a vácuo Phoenix da SIASUN

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