- Câmaras de vácuo
- Sistemas de câmara de equilíbrio
- Ferramentas de cluster
- Wafers/painéis/suportes
- Orientado para o vácuo
- Isolamento do ar
Descrição
O manipulador a vácuo SIASUN PHOENIX-S25 está integrado em câmaras de vácuo, sistemas de carga e ferramentas de cluster. Transporta peças ou substratos (wafers, painéis, suportes, componentes de precisão) entre módulos de processo.
Posicionado como uma plataforma de manipulação orientada para o vácuo, sem expor os materiais ao ar ambiente.
O Phoenix-S25 destina-se a aplicações de manuseamento a vácuo na indústria semicondutora e industrial.
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Características
Especificações
| Modelo | Manipulador a vácuo da série PHOENIX-S25 |
|---|---|
| Tipo de robô | Manipulador a vácuo |
| Utilização prevista | Manuseamento de semicondutores |
| Marca | SIASUN |
Setores
Perguntas frequentes
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O manipulador a vácuo SIASUN PHOENIX-S25 manuseia substratos em câmaras de vácuo e ferramentas de cluster. Transferência isolada do ar para wafers, painéis e componentes de precisão.
Manipulador a vácuo Phoenix da SIASUN é perfeitamente adequado a aplicações nos setores Industrial.
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