Descrição

O Manipulador de Vácuo Série PHOENIX PLUS SIASUN opera no interior de equipamento de processo em vácuo, como ferramentas de cluster para deposição, ataque químico ou processamento em vácuo relacionado.

Transfere wafers ou substratos entre câmaras de bloqueio (load locks), módulos de processo e estações de metrologia mantendo condições de vácuo controladas.

A Série Phoenix Plus serve aplicações de manuseamento em vácuo nos setores dos semicondutores e da indústria.

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Características

Vacuum manipulator
Cluster tools
Deposition/etch
Load locks
Metrology stations
Vacuum conditions

Especificações

Model: Vacuum Manipulator PHOENIX PLUS Series
Robot Type: Vacuum manipulator
Target Use: Cluster tool integration
Brand: SIASUN

Setores

Industrial

SIASUN

Manipulador a vácuo SIASUN da série Phoenix Plus

Regular price: Preço sob consulta

In Stock

Robotic Arm

The SIASUN PHOENIX PLUS Vacuum Manipulator operates in cluster tools for deposition and etch. Controlled vacuum transfer between load locks and process modules.

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