- Manipulador a vácuo
- Ferramentas de cluster
- Deposição/gravação
- Câmaras de carga
- Estações de metrologia
- Condições de vácuo
Descrição
O Manipulador de Vácuo Série PHOENIX PLUS SIASUN opera no interior de equipamento de processo em vácuo, como ferramentas de cluster para deposição, ataque químico ou processamento em vácuo relacionado.
Transfere wafers ou substratos entre câmaras de bloqueio (load locks), módulos de processo e estações de metrologia mantendo condições de vácuo controladas.
A Série Phoenix Plus serve aplicações de manuseamento em vácuo nos setores dos semicondutores e da indústria.
Contacte-nos para preços e disponibilidade.
Características
Especificações
| Modelo | Manipulador a vácuo da série PHOENIX PLUS |
|---|---|
| Tipo de robô | Manipulador a vácuo |
| Utilização prevista | Integração de ferramentas de cluster |
| Marca | SIASUN |
Setores
Perguntas frequentes
Contacte-nos para saber o preço atual, a disponibilidade e obter um orçamento personalizado para Manipulador a vácuo SIASUN da série Phoenix Plus.
O manipulador a vácuo SIASUN PHOENIX PLUS funciona em sistemas de ferramentas em cluster para deposição e gravação. Transferência controlada a vácuo entre câmaras de carga e módulos de processo.
Manipulador a vácuo SIASUN da série Phoenix Plus é perfeitamente adequado a aplicações nos setores Industrial.
Sim. A Robotix Market faz envios para todo o mundo com apoio logístico completo, tratamento aduaneiro e assistência pós-venda.
Sim. A Robotix Market fornece empresas em todo o mundo com faturação e apoio pós-venda. Contacte-nos para obter um orçamento.
Vistos recentemente
Ainda não visualizou nenhum produto.
