- Funcionamento do VTM
- Câmara de transferência
- Pastilhas de silício
- Câmaras de processamento
- Limpeza
- Precisão de posicionamento
Descrição
O Manipulador de Vácuo Série PHOENIX SIASUN opera no interior de um módulo de transferência em vácuo (VTM) ou câmara de transferência de uma ferramenta de cluster. Movimenta substratos (habitualmente wafers de silício) entre câmaras de bloqueio e várias câmaras de processo.
Mantém requisitos rigorosos de limpeza, exatidão de posicionamento e disponibilidade enquanto parte do ecossistema de automação de front-end.
A Série Phoenix serve aplicações nos setores dos semicondutores, logística, investigação e inspeção.
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Características
Especificações
| Modelo | Manipulador a vácuo da série PHOENIX |
|---|---|
| Tipo de robô | Manipulador a vácuo |
| Utilização prevista | Ferramenta de cluster VTM |
| Marca | SIASUN |
Setores
Perguntas frequentes
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O manipulador a vácuo SIASUN PHOENIX funciona em módulos de transferência a vácuo e em ferramentas de cluster. Manuseamento de pastilhas de silício com elevados requisitos de limpeza e precisão de posicionamento.
Manipulador a vácuo SIASUN da série Phoenix é perfeitamente adequado a aplicações nos setores Industrial.
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Manipulador a vácuo SIASUN da série Phoenix
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