O Manipulador de Vácuo Série PHOENIX SIASUN opera no interior de um módulo de transferência em vácuo (VTM) ou câmara de transferência de uma ferramenta de cluster. Movimenta substratos (habitualmente wafers de silício) entre câmaras de bloqueio e várias câmaras de processo.

Mantém requisitos rigorosos de limpeza, exatidão de posicionamento e disponibilidade enquanto parte do ecossistema de automação de front-end.

A Série Phoenix serve aplicações nos setores dos semicondutores, logística, investigação e inspeção.

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