O Robô de Vácuo Série Archer SIASUN transfere wafers ou substratos entre câmaras de processo em equipamentos agrupados. Concebido para ambientes de vácuo com movimento repetível e elevada disponibilidade.

Integrado com módulos de automação de front-end e ferramentas de cluster de vácuo para reduzir a geração de partículas e manter o fabrico limpo.

A Série Archer serve aplicações de processamento em vácuo nos setores dos semicondutores e da indústria.

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