O Robô de Vácuo PHOENIX-S25 SIASUN está agrupado nos subsistemas de "robôs limpos" da SIASUN, incluindo manuseamento EFEM e plataformas de transferência em vácuo. Movimenta substratos sensíveis entre locais de processo e de armazenamento.

Minimiza a contaminação e o risco de manuseamento de wafers ou painéis no fabrico de semicondutores e no fabrico avançado.

O Phoenix-S25 serve aplicações de fabrico limpo nos setores dos semicondutores e da indústria.

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