- Acionamento direto, sem correias Uma estrutura de motor sem engrenagens nem correias reduz a folga e os pontos de desgaste mecânico, para um movimento de transferência mais suave e fiável.
- Adequado a ambientes de vácuo Construído para baixa geração de partículas e desgaseificação controlada, para que os wafers atravessem os equipamentos de vácuo sem quebrar o ambiente controlado.
- Manuseamento de substratos sensíveis Transfere wafers entre câmaras de carga, câmaras de transferência e módulos de processo como estações de deposição, gravação e metrologia.
- Movimento com controlo de vibrações O movimento está afinado para minimizar as vibrações durante a recolha, a colocação e o trânsito, protegendo substratos de elevado valor.
- Controlo pronto a integrar Fornecido com controlador de movimento e interfaces de I/O, incluindo um módulo de I/O atualizado, para ligação aos encravamentos do equipamento e aos sinais de fábrica.
- Transferência repetível e de elevado débito O manuseamento consistente do efetor final favorece a repetibilidade, o débito e o controlo da contaminação nos equipamentos de processamento de semicondutores.
Descrição
O SIASUN Vacuum Robot Phoenix é um robô de transferência em vácuo para o fabrico de semicondutores e salas limpas, concebido para mover wafers e outros substratos sensíveis entre câmaras de carga (load locks), câmaras de transferência e módulos de processo como estações de deposição, gravação e metrologia, sem quebrar o ambiente controlado. O seu movimento está afinado para uma transferência estável e suave em condições de vácuo, onde a baixa geração de partículas, a desgaseificação controlada e o controlo de vibrações são críticos para proteger substratos de elevado valor.
O Phoenix utiliza uma arquitetura de acionamento direto que reduz a dependência de engrenagens e correias, diminuindo a folga e os pontos de desgaste mecânico para um movimento mais suave e repetível. Fornecido como plataforma pronta a integrar, com controlador de movimento e interfaces de I/O, adequa-se a aplicações de manuseamento em vácuo em semicondutores, salas limpas e indústria, onde a repetibilidade, o débito e o controlo da contaminação são importantes. Contacte-nos para especificações detalhadas, preços e disponibilidade.
Características
Especificações
| Marca | SIASUN |
|---|---|
| Modelo | Vacuum Robot Phoenix (PHOENIX B Series) |
| Tipo de robô | Robô de transferência de wafers em vácuo |
| Arquitetura de acionamento | Acionamento direto, sem engrenagens nem correias |
| Ambiente | Vácuo / sala limpa (equipamentos de semicondutores) |
| Manuseamento | Wafers e substratos sensíveis através de lâmina do efetor final |
| Controlo e I/O | Controlador de movimento com módulo de I/O integrado para integração no equipamento |
| Aplicações típicas | Transferência em deposição, gravação e metrologia em equipamentos de processamento de semicondutores |
Setores
Perguntas frequentes
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É um robô de transferência em vácuo que move wafers e outros substratos sensíveis entre câmaras de carga, câmaras de transferência e módulos de processo como estações de deposição, gravação e metrologia, sem quebrar o ambiente de vácuo controlado.
A sua estrutura de acionamento direto, sem engrenagens nem correias, elimina componentes de transmissão intermédios, reduzindo a folga e os pontos de desgaste mecânico e favorecendo um movimento mais suave e repetível para transferências de precisão.
Sim. O Phoenix é fornecido como plataforma pronta a integrar, com controlador de movimento e interfaces de I/O, incluindo um módulo de I/O atualizado, para ligação aos encravamentos do equipamento e aos sinais de automação de fábrica. As especificações numéricas detalhadas são fornecidas por configuração.
Sim. A Robotix Market fornece empresas em todo o mundo, com faturação e apoio pós-venda. Contacte-nos para um orçamento.
Robô de vácuo SIASUN Phoenix
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