- Vacuum wafer transfer
- Load locks
- Process modules
- Repeatability
- Throughput
- Contamination control
Descrição
O Robô de Vácuo Série Phoenix B SIASUN transfere wafers entre câmaras de bloqueio (load locks), câmaras de transferência e módulos de processo (deposição, ataque químico, metrologia) sem comprometer os ambientes controlados.
Melhora a repetibilidade, o débito e o controlo da contaminação no fabrico de semicondutores e em salas limpas.
A Série Phoenix B serve aplicações de manuseamento em vácuo nos setores dos semicondutores, educação e indústria.
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Características
Especificações
Setores
Robô de aspiração SIASUN Série Phoenix B
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Humanoid Robots
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