O robô de vácuo SIASUN SM14 opera através de, ou no interior de, câmaras de vácuo e módulos de transferência compatíveis com vácuo. Transporta substratos delicados entre estações de processo com elevada repetibilidade.

Tecnologia essencial para fábricas modernas e linhas avançadas de processamento a vácuo, onde o rendimento e o controlo da contaminação são fundamentais.

O SM14 destina-se a aplicações de transferência a vácuo na indústria de semicondutores e na indústria em geral.

Contacte-nos para obter informações sobre preços e disponibilidade.