O robô de vácuo SIASUN SM15 transfere substratos (tais como wafers) ou peças sensíveis entre câmaras de carga, câmaras de vácuo e estações internas em equipamentos de processo integrados.

Permite um rendimento repetível, um manuseamento preciso e uma intervenção humana reduzida no fabrico de semicondutores.

O SM15 destina-se a aplicações nos setores dos semicondutores, da inspeção e do manuseamento industrial a vácuo.

Contacte-nos para obter informações sobre preços e disponibilidade.