A Plataforma de Transferência a Vácuo SIASUN Diagram 600 permite a movimentação de wafers entre interfaces de carga/descarga e módulos de processo baseados em vácuo. Mantém condições de pressão controladas para reduzir a contaminação.

Utilizada principalmente para a transferência de wafers no interior de equipamentos de semicondutores, apoiando fluxos de produção repetíveis.

A Diagram 600 destina-se a aplicações de transferência a vácuo nos setores dos semicondutores, da investigação e da indústria.

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