- Ambient pressure
- Front-end modules
- Load ports/aligners
- Inspection stations
- Compact precision
- EFEM integration
Описание
Атмосферный манипулятор SIASUN Blade-D156 перемещает пластины (или пластиноподобные подложки) между фронтальными модулями, портами загрузки, устройствами выравнивания, станциями контроля и интерфейсами технологических установок при атмосферном давлении.
Позиционируется как компактная прецизионная транспортная платформа, часто являющаяся частью EFEM или интегрированной ячейки обработки материалов.
Blade-D156 обслуживает применения в области полупроводников, контроля и промышленной атмосферной обработки.
Свяжитесь с нами для уточнения цены и наличия.
Характеристики
Технические характеристики
Отрасли
Недавно просмотренные
You haven't viewed any products yet.
