Атмосферный манипулятор SIASUN Blade-D156 перемещает пластины (или пластиноподобные подложки) между фронтальными модулями, портами загрузки, устройствами выравнивания, станциями контроля и интерфейсами технологических установок при атмосферном давлении.

Позиционируется как компактная прецизионная транспортная платформа, часто являющаяся частью EFEM или интегрированной ячейки обработки материалов.

Blade-D156 обслуживает применения в области полупроводников, контроля и промышленной атмосферной обработки.

Свяжитесь с нами для уточнения цены и наличия.