- Vacuum chamber
- Cluster tool
- Direct-drive motor
- Expanded I/O
- Safety zones
- Collision protection
Описание
Вакуумный робот SIASUN SM11 работает внутри вакуумных камер и архитектур кластерных установок. Спроектирован для контроля загрязнений, повторяемости и надёжного срока службы.
Обладает структурой двигателя с прямым приводом, расширенным модулем ввода/вывода, настраиваемыми зонами безопасности и защитой от столкновений.
SM11 обслуживает применения в области полупроводников и промышленной вакуумной обработки.
Свяжитесь с нами для уточнения цены и наличия.
Характеристики
Технические характеристики
Отрасли
Недавно просмотренные
You haven't viewed any products yet.
