- EFEM system
- Wafer loading
- Alignment/hand-off
- Contamination control
- Standardized comms
- Front-end transfer
Описание
SIASUN TSS-3000 EFEM (модуль фронтальной загрузки оборудования) служит контролируемым интерфейсом между заводской транспортировкой материалов и внутренней передачей в технологическом оборудовании. Координирует загрузку пластин, выравнивание/передачу и транспортировку.
Поддерживает контроль загрязнений и стандартизированную связь оборудования на фабриках по производству полупроводниковых пластин.
TSS-3000 применяется в полупроводниковых, логистических и промышленных задачах обработки пластин.
Свяжитесь с нами для уточнения цены и наличия.
Характеристики
Технические характеристики
Отрасли
Недавно просмотренные
You haven't viewed any products yet.
