- Vacuum chambers
- Load-lock systems
- Cluster tools
- Wafers/panels/carriers
- Vacuum-oriented
- Air isolation
Описание
Вакуумный манипулятор SIASUN PHOENIX-S25 интегрирован в вакуумные камеры, шлюзовые системы и кластерные установки. Перемещает детали или подложки (пластины, панели, носители, прецизионные компоненты) между технологическими модулями.
Позиционируется как платформа манипулятора вакуумного назначения, не подвергающая материалы воздействию окружающего воздуха.
Phoenix-S25 обслуживает применения в области полупроводников и промышленной вакуумной обработки.
Свяжитесь с нами для уточнения цены и наличия.
Характеристики
Технические характеристики
Отрасли
Недавно просмотренные
You haven't viewed any products yet.
