- Vacuum manipulator
- Cluster tools
- Deposition/etch
- Load locks
- Metrology stations
- Vacuum conditions
Описание
Вакуумный манипулятор SIASUN серии PHOENIX PLUS работает внутри вакуумного технологического оборудования, такого как кластерные установки для осаждения, травления или связанной вакуумной обработки.
Перемещает пластины или подложки между шлюзовыми камерами, технологическими модулями и измерительными станциями, сохраняя контролируемые вакуумные условия.
Серия Phoenix Plus обслуживает применения в области полупроводников и промышленной вакуумной обработки.
Свяжитесь с нами для уточнения цены и наличия.
Характеристики
Технические характеристики
Отрасли
Вакуумный манипулятор SIASUN серии Phoenix Plus
- Regular price
- Цена по запросу
In Stock
Robotic Arm
Недавно просмотренные
You haven't viewed any products yet.
