Вакуумный манипулятор SIASUN серии PHOENIX работает внутри вакуумного транспортного модуля (VTM) или транспортной камеры кластерной установки. Перемещает подложки (обычно кремниевые пластины) между шлюзовыми камерами и несколькими технологическими камерами.

Сохраняет строгие требования к чистоте, точности позиционирования и времени безотказной работы как часть экосистемы автоматизации фронтальной обработки.

Серия Phoenix обслуживает применения в области полупроводников, логистики, исследований и контроля.

Свяжитесь с нами для уточнения цены и наличия.