- VTM operation
- Transfer chamber
- Silicon wafers
- Process chambers
- Cleanliness
- Positioning accuracy
Описание
Вакуумный манипулятор SIASUN серии PHOENIX работает внутри вакуумного транспортного модуля (VTM) или транспортной камеры кластерной установки. Перемещает подложки (обычно кремниевые пластины) между шлюзовыми камерами и несколькими технологическими камерами.
Сохраняет строгие требования к чистоте, точности позиционирования и времени безотказной работы как часть экосистемы автоматизации фронтальной обработки.
Серия Phoenix обслуживает применения в области полупроводников, логистики, исследований и контроля.
Свяжитесь с нами для уточнения цены и наличия.
Характеристики
Технические характеристики
Отрасли
Вакуумный манипулятор SIASUN серии Phoenix
- Regular price
- Цена по запросу
In Stock
Robotic Arm
Недавно просмотренные
You haven't viewed any products yet.
