Вакуумный робот SIASUN серии Archer перемещает пластины или подложки между технологическими камерами в кластерном оборудовании. Разработан для вакуумных сред с повторяемым движением и высоким временем безотказной работы.

Интегрируется с модулями фронтальной автоматизации и вакуумными кластерными установками для снижения образования частиц и поддержания чистого производства.

Серия Archer применяется в полупроводниковой и промышленной вакуумной обработке.

Свяжитесь с нами для уточнения цены и наличия.