- Clean robot
- Substrate handling
- Process/storage transfer
- Contamination control
- Handling risk reduction
- Advanced manufacturing
Описание
Вакуумный робот SIASUN PHOENIX-S25 входит в группу подсистем «чистых роботов» SIASUN, включая обработку EFEM и платформы вакуумной передачи. Перемещает чувствительные подложки между технологическими и складскими позициями.
Сводит к минимуму загрязнение и риск повреждения при обработке пластин или панелей в полупроводниковом и передовом производстве.
Phoenix-S25 применяется в полупроводниковом и промышленном чистом производстве.
Свяжитесь с нами для уточнения цены и наличия.
Характеристики
Технические характеристики
Отрасли
Недавно просмотренные
You haven't viewed any products yet.
