- Vacuum wafer transfer
- Load locks
- Process modules
- Repeatability
- Throughput
- Contamination control
Описание
Вакуумный робот SIASUN серии Phoenix B перемещает пластины между шлюзовыми камерами, передаточными камерами и технологическими модулями (осаждение, травление, метрология) без нарушения контролируемых сред.
Улучшает повторяемость, производительность и контроль загрязнений в полупроводниковом и чистопроизводственном производстве.
Серия Phoenix B применяется в полупроводниковых, образовательных и промышленных задачах вакуумной обработки.
Свяжитесь с нами для уточнения цены и наличия.
Характеристики
Технические характеристики
Отрасли
Вакуумный робот SIASUN серии Phoenix B
- Regular price
- Цена по запросу
In Stock
Humanoid Robots
Недавно просмотренные
You haven't viewed any products yet.
