Вакуумный робот SIASUN серии Phoenix B перемещает пластины между шлюзовыми камерами, передаточными камерами и технологическими модулями (осаждение, травление, метрология) без нарушения контролируемых сред.

Улучшает повторяемость, производительность и контроль загрязнений в полупроводниковом и чистопроизводственном производстве.

Серия Phoenix B применяется в полупроводниковых, образовательных и промышленных задачах вакуумной обработки.

Свяжитесь с нами для уточнения цены и наличия.