- Vacuum chambers
- Transfer modules
- Delicate substrates
- High repeatability
- Throughput focus
- Contamination control
Описание
Вакуумный робот SIASUN SM14 работает через или внутри вакуумных камер и вакуумно-совместимых транспортных модулей. Перемещает хрупкие подложки между технологическими станциями с высокой повторяемостью.
Ключевая базовая технология для современных фабрик и передовых линий вакуумных процессов, где критически важны производительность и контроль загрязнений.
SM14 обслуживает применения в области полупроводников и промышленной вакуумной транспортировки.
Свяжитесь с нами для уточнения цены и наличия.
Характеристики
Технические характеристики
Отрасли
Недавно просмотренные
You haven't viewed any products yet.
