- Substrate transfer
- Load locks
- Vacuum chambers
- Repeatable throughput
- Precise handling
- Reduced intervention
Описание
Вакуумный робот SIASUN SM15 транспортирует подложки (такие как пластины) или чувствительные детали между шлюзовыми камерами, вакуумными камерами и внутренними станциями в интегрированных технологических установках.
Поддерживает повторяемую производительность, точную обработку и сокращение участия человека в производстве полупроводников.
SM15 обслуживает применения в области полупроводников, контроля и промышленной вакуумной обработки.
Свяжитесь с нами для уточнения цены и наличия.
Характеристики
Технические характеристики
Отрасли
Недавно просмотренные
You haven't viewed any products yet.
